產(chǎn)品中心
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
激光分子束外延系統(tǒng)的特點(diǎn)：標(biāo)準(zhǔn)的Octoplus 500有11個(gè)呈放射狀分布的源孔，可以根據(jù)需要增選3個(gè)源孔?？焖俪檎婵者M(jìn)樣室配有水平磁力桿傳輸系統(tǒng)，可以在不破壞MBE腔室真空的前提下，簡(jiǎn)便地進(jìn)行樣品傳輸。
詳情介紹：
激光分子束外延系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)：
1. 由脈沖激光做濺射源，將預(yù)外延材料原子濺射出來(lái)在襯底外延沉積得到單晶薄膜，RHEED電子槍做原位監(jiān)測(cè)；
2. 可放多塊不同尺寸靶材, 靶臺(tái)可公自轉(zhuǎn)，靶基距連續(xù)可調(diào)；3. 樣品臺(tái)襯底可自轉(zhuǎn)，可加熱．
激光分子束外延系統(tǒng)的主要參數(shù)規(guī)格：
● ID 550 mm
● 應(yīng)用于III/V族， II/VI族或其他異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料
● 大晶片6英寸，或7x2英寸晶片
● 進(jìn)樣室和緩沖腔室
● 線性樣品傳輸系統(tǒng)
● 標(biāo)準(zhǔn)法蘭孔數(shù)目(標(biāo)準(zhǔn)11個(gè)，可按要求增加3個(gè))
● 束流源，氣體源，樣品臺(tái)
● 抽真空系統(tǒng)(離子吸附泵，分子泵，低溫泵等)
● 原位表征能力
● 軟件/硬件控制系統(tǒng)
● 額外要求可定制